NDS-1012 (네온테크)

Alpah-Step D-600 (KLA)

FS-1 (Filmsense), Elli-SE-UaM8 (Ellipsotechology)

저온 측정 용 진공 Probe station (MS TECH), Keithley 4200SCS (Keithely)

AccuThermo AW610M (Allwin21 Corp.)

습식 세정 장비

KVE-T2000 (KOREA VACUUM TECH)

TERRA-150 ((주) ULTECH)

Plaminar LP-200L (NexusBe Co.,Ltd)

MEGATRON H150-T2 (WANNA Engineering)

감광제 도포기

마스크 정렬노광기